特种气体系统工程技术标准 GB50646-2020

1.0.1 本条是本标准的宗旨，鉴于电子工厂大部分的特种气体具有自燃、易燃、毒性、腐蚀性、氧化性的特点，同时许多特种气体都具有窒息性，密闭性好的电子工厂厂房内窒息性气体对人员的危害性不可忽视，所以，电子工厂中特种气体站房的设计、建造对于确保财产安全、生命安全都十分重要。随着国内电子工厂特别是半导体器件、集成电路、光电器件类电子工厂，如大规模和超大规模集成电路工厂、薄膜晶体管液晶显示器( TFT-LCD)工厂、太阳能电池工厂、电子材料工厂等建设的日益增多，特种气体系统的应用越来越广，因此，特种气体站房及其系统的设计、施工和验收要采取相应的防火、防毒、防腐蚀和防窒息等安全措施，正确贯彻实施国家有关环境保护、节约能源等各种法律法规，同时，系统的设计要具有先进性和经济性。
1.0.2、1.0.3 本标准适用范围是从外购特种气体与其附属设备在工厂内的站房开始到工艺设备之间的系统工程的设计、施工和验收，不包含特种气体的制取、提纯、罐装系统的设计、施工和验收。本标准主要适应于电子工厂的工程设计、施工和验收，科研院校的实验室、小型车间的特种气体系统可参考执行。
1.0.4 鉴于特种气体具有易燃易爆、毒性大、腐蚀性强的特点，结合国家倡导的绿色环保、以人为本理念，特种气体系统的设计和施工应符合国家相关政策要求。与本标准有关的国家现行标准、规范主要有：《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058、《氢气站设计规范》GB 50177、《工业金属管道设计规范》GB 50316、《自动喷水灭火系.统设计规范》GB 50084、《工业企业设计卫生标准》等。

    本章所列术语 、定义是根据本标准的范 围和特种气体的特性以及储存、输送的实际需要进行制定，在制定相关术语时还依据美国消防协会标准《压缩气体及低温流体规范》(ComPressed Gasesand and Cryogenic Fluids Code)NFpA 55-2016版、(建筑建设和安全规范》(Building Construction and Safety Code)NFPA 5000-2018版、美国国家标准学会(ANSD标准《硅烷和硅烷混合物的储存和输送》(Storage and Handling of Silane and Silane Mixture)ANSI/CGA-13-2015版中的有关规定，如本节第2.0.16条“生产区”(fabrication area)是按照NFPA 5000-2018中的3.3.35.5“fabrication area”制定的，该条的内容摘录如下：
    3.3.35.5 半导体生产设备及相关研发区域，在该区域 内 ，有些工艺生产需要使用危险性生产材料(HPM)。
    如本节第 2.0.2 条“150标准集装瓶组”是 按 照 ANIS/CG-A13-2015中的3.2.4.1.2“150模块”制定的，该条的内容摘录如下：
    3 .2 .4 .1 .2 采用集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块。150模块的框架及其角件都经过特殊设计，其尺寸适合于集装箱船、高速公路集装箱半挂车和铁路运集装箱的多模运输。
    本章的特种气体不包括电子工业中常用 的五种大宗气体，即氮气、氢气、氧气、氩气和氦气。

3.1.1 在电子工厂设计中，当供应和储存特种气体量较少时，为减少气体管道长度、保证气体质量，特种气体站房一般布置在生产厂房内一层的特种气体间。当供应和储存特种气体量较多时，为了安全需要，规定应将特种气体站房布置在单独的建(构)筑物内，利用室外管道输送特种气体至用气厂房。
3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，用量相对较小。根据目前我国及欧美、日本等世界发达国家的特种气体供应情况，自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体多采用气瓶柜供应，氧化性、惰性气体多采用气瓶架以及气体集装格等多种形式供应。
3.1.3 布置在单独建(构)筑物或区域内的特种气体站，根据目前我国及欧美、日本等世界发达国家的特种气体实际供应情况，通常采用气体集装格、卧式气瓶150标准集装瓶组、长管拖车等供应方式。
3.1.4 本条规定了生产区特种气体设备的布置原则与最大允许使用储存量，因为电子工业厂房的生产区要使用大量的特种气体，这些特种气体多具有自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性的危险性质，为此，规定特种气体在设置气瓶柜、排风装置，生产区设置自动消防喷淋系统的情况下，应按照表3.1.4的数量布置特种气体，这些数据是我国半导体行业多年来运行经验的总结，与电子工业发达国家的规定相近，惰性气体不在列表范围，不受上述文件限制。虽然本条规定了特种气体在生产区的布置要求，但是一般情况下，除非特种气体因为性质原因(如低蒸汽压力气体)或工艺有特殊要求，标准仍然建议将生产区的特种气体数量(包括惰性气体)降至最小值，尽可能将特种气体放置在特种气体间内，便于集中管理控制，这符合行业惯例与安全要求。
    美国消防协会标准《压缩气体及低温流体 规 范 》 NFPA5-2016第3.3条(一般定义)，第6.2条(控制区)，第6.3条(用房保护级别)和《国际防火规范》IFC-2018表2704.2.2.l(每个半导体生产区危险材料的数量限制)也做了相关的规定，上述NFPA 55-2016和IFC-2008的相关内容摘录如下：
    《压缩气体及低温流体规范》NFPA 55-20 16：
    3.3 一般定义
    3.3.6.1 控制 区：建 筑 或建筑的一部分，该区域内允许危险性材料的储存、输送、使用、或操作，危险性材料(HPM)的数量不应该超过最大量。
    6.2 控制区
    6.2.1 建设 需 求：控 制 区是按照表 6.2.1的要求，用防火隔离相互分开的区域。     注释：上述表 中的百分比是指表 2(6.3.1.1)中的最大允许量(MAQ)及注释中允许增加数量的比例。
    6.3 用房保护级别
    6.3.1.2 超过MAQ 的数量：当室内相关控制区储存和使用低温流体及压缩气体的数量超过表6.3.1.2的数量时，将按照第6章的相关章节的要求执行。     注释：
    (1) 控制区的定义和使用请见本规范第6.2节。
    (2) 未摘录。
    (3) 使用和储存的总量不应该超过储存的量，特殊存放总量不允许超过建筑规范的限制。
    a.气体测量为标准状态(20℃)和(101.3kPa)。
    b.除非储存和使用在气体房间或批准的气体柜或密闭排风，及规范有说明，上述气体不允许储存和使用在非喷淋的建筑内。
    c.固定或移动式容器具有压力释放装置 ， 并直接通往室外或排风罩。
    d.当材料酌情储存或使用在批准的柜体，气瓶柜，密闭排风，气体房时 ，教量可以增加100%。注释e.也使用时，两个注释的数量可以叠加增加。
    e.当整个建筑按照NFPA13设置有 自动喷琳系统时，数量可以增加100%，注释
    d.也使用时，两个注释的数量可以叠加增加。
    f.移动设备或槽车燃料储罐 内可燃气体量可以超过 MAQ，储存和操作的设备按照相关规范。
    j.仅仅允 许 放 置 在按照 NFPA13 规范设计有 自动喷淋系统的建筑 内。
    k.仅仅允许储存和使用在气体房间或批准的气瓶柜或密闭排风，规范有 特 别 说 明的地方。
    (国际防火规范》IFC-2018：
    表2704.2.2.1每个半导体生产区危险材料的数量限制。
    注释：
    a.管道 内 的 危 险性材料不包括在计算数量内。
    b.每个半导体生产区的危险材料的数量不应超过表5003.1.1(1)和表5003.1.1(2)内每个控制区的允许数量(编者注：与NFPA 55-2016表6.3.1.1相同)。
    c.符合ISO 8115包装要求的密集打包棉花不包括在上表的材料等级内。
    d.可燃气体 、自燃气体、毒性气体和剧毒性气体的总量不应该超过0.2ft³/ft²或9000ft³(编者注：NFPA 55-2016上述气体总量为56+92+1.1+2.8=151.9m³=5364ft³，小于IFC规定的9000ft³的允许量)。
    e.在建筑内自燃性气体的总量不应该超过表 5003.8.2展示的数据(编者注：为2000ft³，即57m³，与NFPA 55-2016表6.5相同)。
    综上所述 ，电子工厂生产厂房的生产区内特种气体的数量限制采用。NFPA 55-2016中每个控制区危险材料的最大允许量(MAQ)是合适的。
3.1.5 本条第1款、第2款为强制性条款，必须严格执行。本条规定了特种气体间的设计应满足的要求。特种气体间应设置排风系统，房间应运行在负压状态是为了及时排除泄漏气体和防止气体间泄漏的气体进人相邻房间或通道，杜绝事故扩大；特种气体间应采用防火隔墙相互隔离是为了防止特种气体间的火灾事故蔓延至相邻房间。
    同时，也规定了特种气体间的设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
    美国消防协会标准《压缩气体及低温流体规范》NFPA 55-2016的第6.4条(气体室)也做了相关的规定，上述NFPA 55-2016的相关内容摘录如下：
    6.4 气体间，因为气体 的 特 殊 供应需要，或材料的其他需要，或第7章至第16章涉及的特别使用需要等原因，气体的储存和用量超过阂值(最大允许量MAQ)时，气体间的使用可以满足这种要求。气体间的设计应符合第6.4.1条至第6.4.5条的规定。
    6.4.1 压力控制，气体间与相关的周边区域相比，应是处于负压运行环境。
    6.4.2 排风 ，气体间将提供排风系统。
    6.4.3 建筑工程，气体间的建设将满足 建 筑 规 范的要求。
    6.4.4 分隔，气体间将采与周边 区域用1h的防火隔离。
    6.4.5 容量的限制，储存和使用压缩气体、相关设备、供 应 部件的压缩气体房间的功能将受到限制。
3.1.6 本条为强制性条文，必须严格执行。本条的编制依据是美国消防协会标准《压缩气体及低温流体规范》NFPA 55-2016的第6.5条(独立式建筑)的相关内容，上述NFPA5-2016的相关内容摘录如下：
    6.5 独立式建筑，储存和使用压缩气体包括独立式大宗氢气压缩气体系统，当数量超过表6.5指定的数量时，应设计独立式建筑，建筑的建设应符合建筑规范的相关规定。     NFPA 55-2016规定是当气体间超过表 3中规定值时，应 设置独立的气体供应站，考虑目前电子工业使用特种气体的具体情况，本条只规定了自燃气体超过57m³时，应该设置独立的气体站。表中不稳定反应气体没有在电子行业中使用，氢气有专门规范定义，所以本条未纳人这两种气体。自燃性气体的燃爆危险性较其他特种气体更大，把超过一定数量的自燃气体布置在独立建筑，可以减少事故状态下对主生产厂房的影响，这在工厂设计中是非常必要的，也是行业内的通用做法。虽然本条只对自燃性气体设置独立的大宗气体站的储量进行了规定，但是，当电子工厂的其他特种气体危险性较大、储存量较多、且气体适合较远距离输送时，标准仍然建议在工厂设置独立的大宗特种气体站。
3.1.7 低蒸汽压力特种气体供应设施宜靠近工艺设备是考虑这些气体的蒸汽压力较低，从气瓶柜到工艺设备的输送距离应尽可能短。
3.1.8 生产厂房内的特种气体间集中布置在一楼或其他辅助楼层靠外墙位置的主要理由有：一是特种气体的气瓶架、气瓶柜、卧式气瓶的实瓶运进和空瓶运出方便性；二是按照现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016 的有关规定，易燃易爆特种气体间在建筑设计上应设置防爆措施，特种气体间的外墙可以设计为泄爆面；三是集中布置便于进行安全管理；四是集中布置有利于特种气体间的空调、排放、排气、GMS、GDS的合理设计。

    3.2.22.2 室外位置有两种情况：1.建筑的室外;2.有顶棚遮盖和不多余三面独立的外墙的场所，墙与顶棚结构之间、墙与墙之间有足够的空间隔离，当硅烷泄漏时，可以减少硅烷的堆积。注释：可以通过链式围栏或相似的不阻挡空气流动的开式结构建设敞开式环境。

4.1.1、4.1.2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。如特种气体中的硅烷为自燃性，一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此，对系统设计的安全性要求十分严格。特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力、温度等的工艺参数要求。为此，在气源一端一般要配置高精度的流量计、压力变送器、电子秤、温控器等。对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳一汤普逊效应。部分特种气体减压后，温度会降低，甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热。
    在管路吹扫、测试检验等每一个环节应采取措施，使特种 气 体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求。为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上，大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶、长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱、阀门盘、辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置等，以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。
    为满足电子 产 品 工 艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求，并按照行业标准《气瓶安全技术监察规程》TSG R0006-2014 6.7.1(4)，瓶内气体不能用尽，压缩气体，溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa;液化气体、低温液体气瓶要有不小于0.5%-1.0%规定充装量的剩余气体。同时，鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高(5N以上)，而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高。所以按照经验设定剩余量为10%，且液相不宜用干。
4.1.3 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的排气体管道不得接人同一排气系统，为此，做了本条的规定。
4.1.4 工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带人浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接人同一排风系统。

5.1.1 近年来，我国电子工厂尤其是芯片生产工厂、TFT-LCD液晶显示器生产工厂等生产过程均需要应用多种特种气体，据了解，这类工厂多数设有特种气体管理系统，特种气体管理系统控制多采用可编程逻辑控制器方式控制，简单系统多采用单台报警控制主机或二次仪表控制，特种气体管理系统在有条件的工厂宜独立设置系统，为此做了本条规定。
5.1.2 根据我国电子类工厂的实际情况，规定特种气体管理系统设置在全厂动力中心，并在消防控制室和应急管理中心设报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘，这是为了实现工厂动力控制系统、消防控制和应急管理的集中控制、统一指挥。

5.3.1 为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的储存、分配及使用场所安全设施的设置。
    1 本款规定了设置数字式视频监控摄像机、门禁，摄像机、门禁应考虑与使用环境相适应，如有防爆、防腐蚀要求的场所，需使用相应防护的产品。
    2 本款是从实际情况看 ，安全管理显示屏一般安装在洁净室内、洁净室人口服务台处、气瓶柜间的人口等位置。其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施。以TCP/IP网络联机方式连接至洁净室人口服务台处之服务器。在洁净室人口服务台处及值班室的工作站，可键人日常信息，在安全显示屏上显示。为此做了本款规定。
    3 因为自燃性、易燃性、毒性气体一旦发生泄漏等安全事故 ，将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患，为此，本款规定在这些气体的储存、分配、使用场所内及相关建筑主人口、内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置，提醒人员注意，采取防范措施。
    4 为 了 在紧急情况下切断特种气体的供应 ，避免事故的蔓延与扩大，本款规定在自燃性、易燃性、毒性气体储存、分配、使用场所人口处应设紧急手动按钮。由于应急处理中心室有专人值班，规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。
5.3.2 为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害，对生产与作业人员带来危害，本条规定了在地震多发地区，特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置。
5.3.3 国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍，一般设置三组地震探测装置(设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定)，为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌，本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时，才立即执行联锁控制功能，并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统。
    对于实验室，工艺设备少的电子工厂，按需要设置地震探测装置，不做强制要求安装。
5.3.5 从保护人员生命安全的角度考虑，本条规定了气体站房应配置防毒面具、自吸式防毒面具等安全防护设施。
5.3.6 为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生，本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标。

6.1.1 本条定义了特种气体管道输送系统的构成部件与要素。
6.1.2 在电子工厂的工程设计中，为使管道走向明晰，便于管理，生产厂房内特气体干管，一般都敷设在技术夹层或技术夹道内。
    由于特种气体多数具有易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、窒息性等危害特性，本条规定了特种气体管道与水、电气管道的共架布置的原则。
6.1.3 本条为强制性条文，必须严格执行。为了防止自燃性、易燃性、毒性特种气体泄漏后聚积，引发着火、爆炸事故，本条规定此类特种气体管道在生产厂房洁净室内应明敷。为了防止管道接头松动，减少气体在管道泄漏，进一步规定特种气体管道应采用焊接。美国消防协会标准(半导体生产设施防护标准》NFPA 318-2018第5.7.1条也做了规定，危险化学液体和气体的供应管道应全程焊接。
6.1.4  本条为强制性条文，必须严格执行。为了防止此类特种气体管道穿过生产区墙壁与楼板处的管段气体泄漏后积聚，本条规定特种气休穿过生产区墙壁与楼板处的管道应设置套管，在套管内的管道不应有焊缝。国家标准(《工业金属管道工程施工规范》GB 50235-2010第7.1.5条，现摘录如下：
7.1.5 当工业金属管道穿越道路、墙体、楼板或构筑物时，应加设套管或砌筑涵洞进行保护，应符合设计文件和国家现行有关标准的规定，并应符合下列规定：
    1 管道焊缝不应设置在套管内。
    2 穿过墙体的套管长度不得小于墙体厚度。
    3 穿过楼板的套管应高出楼面50mm。
    4 穿过屋面的管道应设置防水肩和防雨帽。
    5 管道与套管之间应填塞对管道无害的不燃材料。
    为了排除自燃性、易燃性、有毒、腐蚀性等危险气体在机械连接部位可能发生的泄漏气体，本条规定应将这些连接部位设置在排风罩内，如气柜、阀门箱等。
6.1.5 由于不使用易燃性特种气体、毒性特种气体的房间在工程上不会设计与安全相关的排风、气体泄漏报警以及电气防爆装置，易燃性特种气体、毒性特种气体管道穿越这类房间后，将可能发气体泄漏，引发着火、中毒事故。有时为减少管道的长度及便于布置，必须穿越时应设套管或使用双层管。
6.1.6 本条规定特种气体管道不宜出现不易吹除的盲管等死区，避免U形弯。这是为了防止在特种气体管道启用、维修时有效吹扫置换管道中的残留气体或其他杂质。
6.1.7 为防止静电积聚，引发着火事故，本条规定易燃性特种气体、氧化性特种气体管道，应设置导除静电的接地设施。
6.1.8 为了防止特种气体泄漏发生聚集，并方便检修，本条规定特种气体管道宜架空布置。

6.2.3 近年来的工程实践表明，电子工厂的特种气体管道系统应采用隔膜阀、波纹管阀等。这些阀门的阀座密封材料应尽量减少应用塑料聚合物等材料的使用量，因为这些材料易逸出气体，容易影响气体纯度或引起化学反应。为此还应注意选些材料时应与具体特种气体的物理化学性质匹配，如氨气(NHз)禁止使用氟化橡胶(Viton)材料、笑气(N₂O)应使用聚酰亚胺树脂(Vespel)材料等。
6.2.4 在保证安全和工艺要求的前提下，节省投资也是工程设计的重要内容。为此，本条规定了双层管的外管作为安全保护的第二道屏障，采用SS304材料即可满足要求，且一般不做特殊的洁净要求。
6.2.5 排气管道和尾气真空管道对管道材质没有特殊要求，采用SS304 管道即可满足要求，在实际工程中，也有排气管道采用PVC材料。
6.2.6 本条为强制性条文，必须严格执行。为避免管道内油脂与氧化性介质发生反应，产生燃烧等严重后果，本条规定管道氧化性气体管道应经过严格的脱脂处理。

6.4.1 本条规定了特种气体管道应进行管道标识，其目的是为特种气体管道的安装施工中管道的标识提供依据和生产运行中使用标识特气体管道内容物及其危险特点，防止事故的发生或一旦发生事故时使作用人员，安全管理人员迅速识别特种气体管道的100内容物及其危险性。美国国家标准学会标准《压缩气体和低温液体规范》NFPA 55-2016 第 7.1.7.4条也做了规定，现摘录如下：
    7.1.7.4 管道系统需要根据(管道系统识别方案》ASMEA13.1进行标识，或采用其他如下适用且认可的标准，标识应包括气体的名称和流向箭头。用于在不同时间输送多于一种气体的管道应标明以提供危险的明确标识和警告。管路系统的标识应在下列位置设置：
    (a) 每个关键工艺控制阀处；
    (b) 穿越墙、地板，或天花板处；
    (c) 流向发生变化处；
    (d) 最少每6.1m或整个管路走向间隔。
6.4.2、6.4.3 这两条分别规定的管道标识的颜色、字体、主要危险特性和介质流向，这些规定是电子工厂多年经验的总结和行业的通用做法，规定的颜色也符合现行国家标准《安全色》GB 2893的有关规定。
6.4.4、6.4.5 这两条分别规定了管道标识的尺寸和粘贴标示的主要事项，这些规定都是电子行业经验总结和通用做法。

7.2.6 在芯片、液晶面板生产厂房的设计中，几乎不能避免自燃性、易燃性特种气体管道穿越防火隔断，为防止火焰从一个防火分区扩散至另一个防火分区，本条规定用耐火等级与防火隔断一致的封堵材料将管道与防火隔断之间的缝隙填实封堵。
7.2.7、7.2.8 这两条规定了特种气体房间安全出口的设置数量。安全出口对保证人和物资的安全疏散极为重要。特种气体房间至少应有2个安全出口，可提高火灾时人员安全疏散的可靠性。但对特种气体房间面积较小时仍要求2个出口有一定的困难，为此规定了特种气体房间设置1个安全出口时应具备的条件。对有爆炸危险性的房间因火势蔓延快、对人员安全影响大，因而在面积控制上要求严格些；毒性、腐蚀性、惰性特种气体房间的面积控制要求适当放宽。
7.2.9 本条为强制性条文，必须严格执行。本条规定了硅烷站的安全出口的设置方法和硅烷站到最近安全出口的距离要求，目的是在硅烷站发生火灾时，人员能够尽快逃离火灾现场，保护人身安全。规定了硅烷站的面积小于19m，时，应设置一个安全出口；规定了任何地点到最近安全出口的距离不得大于23m，都是目前我国电子工厂的普遍做法。美国国家标准学会标准《硅烷和硅烷混合物的储存和操作》ANSI/CGA G13-2015第7.5条(出口)也做了规定。该条摘录如下：
    7.5 储存和使用 区 域 最 少有两个出口，当区域面积少 于200ft²(19m²)以及设备的布置使得逃生口非常清晰时，可以布置一个安全出口，到出口的逃生距离不得大于75ft(23m)。

8.1.1 特种气体站房的各类设备在停电中断供气后，会造成工厂产品成批报废，经济损失较大，所以电力负荷的等级要求较高，不低于二级负荷为特种气体生产用负荷为双路市政电源或一路市政电源加应急电源。气体管理(控制系统)与气体泄漏探测系统允许中断供电的时间为毫秒级，应配有不间断电源UPS，其中，电子秤的供电电源与气体管理与气体探测系统相同。
8.1.3 电子工厂部分易燃易爆气体的比重小于或近似于空气，易向上方扩散；同时特种气体站房多为三班制连续运行，中断照明会影响生产。

8.2.1 按照现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057规定，具有2区爆炸危险场所的第二类防雷建筑物除采取防直击雷和防闪电电涌侵人的措施外，尚应采取防雷电感应的措施。
8.2.5 采用螺栓连接是为了便于设备和管道的拆卸检修。采用挠性连接线是为了避免振动、位移影响接地可靠性。
8.2.6 考虑到我国相当多的电子工厂在工程实际中采用联合接地的方式，本条规定了接地电阻值的要求。
8.2.7 本条规定中的电阻值是符合现行国家行业标准《石油化工静电接地设计规范)SH/T 3097中的有关规定的。

9.3.1 特种气体站房用于储存和分配自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、窒息性气体，存在管道或阀门泄漏和积聚的潜在危险性。因此，特种气体站房应设置连续的机械通风，防止自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、窒息性气体在特种气体间内积聚。通常，自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体储存在气瓶柜内，气瓶柜应设置局部通风，房间通风量应不小于气瓶柜的通风要求，为了保证房间通风良好，本条规定了特种气体站房的最小通风换气率。美国国家消防协会标准《半导体生产设施防护标准》NFPA-318-2018第5.5.3条也做了规定，该条内容摘录如下：
    5. 5. 3 有害化学品储存和配送房间应设置机械通风，机械通风换气率不应低于0.31m³/(min·m²)[1ft³/(min·ft²)]地面面积。
    0.31m³/ (min·m²)相当于18m³/(h·m²)地面面积。特种气体气瓶安装在气柜内，特种气体气柜设有机械排风、自动喷水灭火喷头、气体侦测装置、控制以及吹扫装置，一旦有极少量有害气体泄漏，气体探测装置将自动切断气瓶瓶头阀门并停止气体供应，自动吹扫管道，机械排风系统将释放在气柜内的极少量有害气体及时排出，不会造成有害气体在特种气体站房扩散。特种气体站房为恒温恒湿空调环境，且采用直流式空调系统，为降低能耗，在保证安全的前提下，应尽量减少新风量。基于上述原因，故本条规定了特种气体站房通风换气率不应小于18m³/h·m²)地面面积。
9.3.2 本条为强制性条文，必须严格执行。特种气体气瓶柜和阀门箱内安装了特种气体分配阀门和管道，阀门和管道接口较多，存在泄漏的可能性。因此，特种气体的气瓶柜和阀门箱应设置机械排风进行强制通风，防止自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、窒息性气体在气瓶柜和阀门箱内积聚而引起事故。
9.3.3 特种气体的排风系统划分原则包括以下三点：
    (1) 防止不同种类和性质的特种气体混合后引起燃烧或爆炸事故。
    (2) 避免形成毒性更大的混合物或化合物 ，对人体造成危害或设备和管道腐蚀。
    (3) 防止在风管中积聚粉尘，从而增加风管阻力或造成风管堵塞，影响通风系统的正常运行。
9.3.4 大宗特种气体站房内特种气体容器容积较大，且特种气体容器直接暴露在特气站房环境内，发生气体泄漏时，气体直接泄漏至特种气体站房环境内，操作人员、救援人员暴露风险高，因此，大宗气体站房应设置事故通风。事故通风量应根据事故时泄放的特种气体量和危害程度通过计算确定。根据现行国家职业卫生标准《工业企业设计卫生标准》中的规定，事故通风换气次数的下限定为12次/h。特种气体站房事故通风系统与环境气体探测器联锁，当发生气体泄漏事故时，自动开启事故通风系统，以降低环境中气体浓度。报警在特种气体站房外设置紧急按钮以便救援人员启动事故排风系统。
9.3.5、9.3.6 硅烷属于易燃、易爆气体，一旦发生泄漏，将会发生自燃，有可能导致火灾或爆炸，为了确保硅烷的泄漏数量不会导致自燃，本条规定是为了将硅烷供应使用区域的硅烷浓度控制在0.4%以下。美国国家标准学会标准《硅烷和硅烷混合物储存和操作》CGA G-13-2015第13章第13.2.3条也做了规定，该条的内容摘录如下：
    13.2.3 排风罩、抽风罩、气柜应设置排风系统，以阻止渗漏硅烷积聚，并限制硅烷平均浓度为0.4%，即体积比250:1。试验表明0.4肠平均浓度可能引起气拒内局部体积爆燃(PVD)。估计0.4%限值所产生的超压可以通过气柜门闩失灵来泄爆。标准硅烷体积流量应根据管道系统泄放至密闭空间的最大流量来决定。流量应根据管线限流孔板或气瓶阀尺寸和硅烷源最大压力来计算。在硅烷气瓶或管道系统非焊接附件和连接处的最小通风量应不小于最大硅烷体积流量的250倍。表13.2.3为标准硅烷流量和最小通风量。     注：1.硅烷气源温度为 57°F(24℃ ) 。
           2.限流孔板下流侧压力为0pis。
           3.限流孔板孔口出流系数为 0.8 。
           4.立方英尺/分(scfm)转换为升/分 换 算 系 数 28.32。
           5.psi转换为kPa换算系数6.895。
9.3.7 排风管道为负压，采用柔性风管或软管，风管的有效通风面积减小，将会影响到通风效果，同时，柔性风管或软管对火灾的耐受性较差，很容易造成排风管烧坏和变形。因此，易燃性、毒性、腐蚀性气体柜和阀门箱的排风与主排风管道连接的支管采用刚性风管。气瓶柜、阀门箱排风管道是保证气瓶柜通风良好的必要前提。如果在气瓶柜、阀门箱的排风管道上设置防火阀，一方面，防火阀可能误动作，导致气瓶柜、阀门箱排风故障，将存在有害气体在气瓶柜内积聚，存在安全风险；另一方面，在火灾情形下，气瓶柜、阀门的排风仍有必要保持联系工作，才能保证操作人员和消防人员的生命安全。因此，本条规定了气瓶柜、阀门箱的排风管路上不应设置防火阀。大宗有毒性气体容器出口阀门部位管道连接为机械密封，存在泄漏风险，故本条规定了应设置抽风罩，提高通风效率，阻止泄漏气体进人室内环境。
9.3.8 房间排风口的位置应根据特种气体与空气的相对密度来确定，防止有害气体积聚。为了将不同位置积聚的特种气体排出，本条规定了根据特种气体相对密度的大小设置房间排风口的位置，这样可以有效地将大于、小于空气密度的特种气体排至室外。
9.3.9 避免特种气体站房排风造成对周围环境和人身安全造成危害，因此，应根据排风中特种气体的性质和浓度等因素确定设置处理装置进行处理，如洗涤塔、吸附塔等。
9.3.10 为保证特种气体站房排风系统的连续可靠运行，宜设置备用排风机。备用排风机也可以兼做事故排风机。特种气体间通风系统电源设置应急电源，目的是保证排风系统的稳定运行可靠。
9.3.11 特种气体站房的火灾危险性属甲类、乙类，如采用循环空调系统，易形成易燃性气体积聚，而引起爆炸事故，另外，毒性、腐蚀性的特种气体的积聚也危及人员的生命安全，因此，不应采用循环空调系统。特种气体间设置空调系统目的是为特种气体柜及其控制系统提供一个适宜的工作环境。
9.3.12 避免相邻特种气体间的火灾蔓延，或因一个特种气体间火灾而导致多个特种气体间的通风关闭，造成更大的危害。因此，空调风管不应穿越特种气体间之间的分隔墙。
9.3.13 为保证特种气体间的环境状态稳定，因此，建议空调系统设置备用空调机组。当受到条件限制时，采用适当措施保证在空调机组维护或故障时，特种气体房间能取得足够的补风，也是保证安全的有效措施之一。
9.3.14 特种气体间空调系统电源设置应急电源，目的是保证特种气体间的通风平衡和稳定。
9.3.15 本条为强制性条文，必须严格执行。特种气体设备及站房排风管道及空调风管采用不燃材料制作，保温采用应采用不燃或难燃材料，是为了防止火灾蔓延和扩散，规定腐蚀性特种气体的排风管道采用耐腐蚀材料，是为了防止腐蚀气体破坏排风管道，产生气体泄漏事故。
9.3.16 为防止因空气摩擦产生静电积聚，而引起燃烧和爆炸事故，因此，特种气体设备排风管、站房通风管道及空调风管应设置防静电接地装置，消除风管静电。
9.3.17 本条为强制性条文，必须严格执行。为了保证特气站房排风系统连续运行，防止特种气体积聚，从而降低了火灾危险性和对救援人员的危害，本条规定特气站房排风系统不得与火灾报警系统联动控制。因为火灾时，一旦关闭特种气体站房的排风系统，特种气体系统的自燃、易燃、毒性、腐蚀性、窒息性气体可能会泄漏进人房间，造成人员伤害，伤害可能比火灾危险发生更早，所以，本条规定火灾发生时，严禁关闭排风系统。

10.1.6 工程质量控制的关键在于过程控制，本条规定的各个工序都是关键工序，在施工单位做好自检自律的同时，让相关单位共同验证施工质量和安全可靠性是十分重要的，所以本条规定建设单位技术人员应在场检验确认。

10.3.1 为防止施工单位未经过设计单位同意更改图纸，造成安全与质量隐患，本条规定气瓶柜、架应按照设计图纸的要求定位。
10.3.2 本条是对气瓶柜、气瓶架的固定做出的规定，目的在于防止气瓶柜晃动和移动，造成气瓶柜连接的管道接口松动，导致气体泄露发生事故。
10.3.3 本条是对单个气瓶柜、气瓶架和成排气瓶柜、气瓶架定位的基本要求。满足使用功能要求的同时，也满足美观功能的要求。
10.3.4 为保证气瓶柜的安装质量，本条规定气瓶柜的安装应保证柜门开关自如，不得扭曲变形、关闭不严。

10.4.1 本条对阀门箱和阀门盘的安装位置做了规定，这样便于操作，同时保证阀门箱稳固和避免对管道运行造成的影响。
10.4.2 本条规定，一是保证支座不会因腐蚀而影响洁净室的洁净度，二是保证整体的美观，因为特种气体系统的施工要求严格，造价较贵，支座的制作应与系统整体美观相适应。
10.4.3 本条是对单个和成排就位的阀门箱和阀门盘的基本要求。满足使用功能要求的同时，也满足美观舒适的要求。
10.4.4 本条是对阀门箱和阀门盘的固定而做出的规定。目的在于防止阀门箱和阀门盘的晃动和移动，造成阀门箱和阀门盘连接的管道接口松动，导致气体泄露发生事故。
10.4.5 在众多的工业用途中，不锈钢都能提供令人满意的耐蚀性能，但不锈钢与其他金属和非金属之间容易造成点腐蚀、晶间腐蚀以及缝隙腐蚀。尤其在湿度较大或有弱酸性的环境中，其腐蚀更为严重，所以本条对阀门箱和阀门盘的连接螺栓做了规定。

10.5.2 本条是对尾气处理装置的固定而做出的规定。目的在于防止尾气处理装置的晃动和移动，造成设备连接管道接口松动，导致气体泄露发生事故。
10.5.4 为防止吸附剂失效，本条规定干式尾气处理装置及纯化器安装时，应防止吸附剂长期接触空气。

    10 特种气体管道的两端管口在运输 、保管、施工、测试等各种情况下都应保持密封或管道内充高纯氢气或氮气，使管道内免受空气污染。管口暴露在大气中，会使空气中的水分、颗粒、氧气、油分吸附在管道内壁，对最终测试和运行使用造成极大的隐患，甚至造成整个系统的报废，所以当安装结束后，所有系统内应充氢气或氮气正压保护。
10.6.5 本条对双层管特种气体管道施工做出了规定。
    2 本款规定双层管焊接外管及滑套时，内管和外管 都 应 充 高纯氢气保护，其目的是为了及时地、准确地确认内管是否被焊穿。因为内管一旦焊穿，外管与内管之间的氢气就会流人内管，内管上压力表的读数就会增加。

10.7.1 特种气体系统改建、扩建工程施工工艺及质量要求与新建工程的要求是一致的，但由于改建、扩建工程中增加了拆除特种气体管道的工序，这牵涉到与生产同时进行以及拆除的管道中有可能残存少量危害性极大气体。
    1 本款再次强调应编制施工方案 ，鉴于改建、扩建工程的特点，其施工方案应更加具有针对性、指导性和全面性，要把现场可能出现的危险因素全部考虑周到，并制订切实可行的实施措施以及应急预案，由于业主方专业技术人员比施工方更了解现场情况、风险程度及安全技术措施，所以施工方案应报业主批准。对潜在的危险向施工人员进行详尽的技术交底，也是安全预防措施的一个很重要的方面，是避免安全事故发生的源头保证。
    2 本款规定是为了尽量减少施工对生产造成影响 ， 保证施工人员和产品生产作业人员的安全以及设备的安全、产品质量、施工质量等应采取的措施。
    3 本款规定改建、扩建、拆除工程由施工方和业主方共同现场监督，所有作业应由专人在业主技术人员的指导下完成。施工人员要有极强的责任心和丰富的施工操作经验，在双方技术人员的共同确认下认真地完成各项作业，如切割改造工作时应提前在被切割管道全线和切割处明显标示。
10.7.2 本条为强制性条文，必须严格执行。施工前将管道内的特种气体用高纯氮气置换尽，这是为了防止管内残存有害气体在施工时对人身、环境和设施造成安全威胁所采取的措施，由于特种气体对环境及人员存在的危险性特性，因此，本条规定被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。
10.7.3 施工、测试完成后，其管内充人高纯0.1MPa的高纯氮气，其目的是为了便于检查管道因受外力导致接头松动或管道破损而造成管道泄漏，同时还确保管道不受污染。

    本节是对特种气体系统施工验收的范围和工程验收的依据做出了规定。

    本附录为特种气体管道氦检漏方法，本附录的内容在一些工程公司的实际工作中得到使用，作为推荐性内容提供给使用者。